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達(dá)州電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇

發(fā)布時(shí)間:2023-05-22 21:37:17 人氣:639

電子<a title="潔凈室" >潔凈室</a>氣壓規(guī)定及控制篇電子潔凈室氣壓規(guī)定及控制篇

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? ? ? 對(duì)于大部分電子行業(yè)潔凈空間,為了控制一定的潔凈度,需要防止外界污染侵入,所以要保持

內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。這樣外界的污染就不會(huì)侵入室內(nèi)。其中壓力差的維

持一般應(yīng)符合以下原則:


? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?潔凈廠房
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1 潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
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2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
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壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理

意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。



潔凈室中的氣流速度規(guī)定:



? ? ?這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度,在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時(shí)再說

明。
對(duì)于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概

念,而不直
接用速度的概念,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
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(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
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(2)吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污

染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。

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對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室),由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染,所以截面上的

速度就是非常重要的指標(biāo)。過去都參考美國20gB標(biāo)準(zhǔn),采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需

要的通風(fēng)量是極大的,為了節(jié)能,也都在探求降低速一風(fēng)速的可行性。


潔凈室設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)圖
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在我國,《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的

垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s

? ? ? ? ? ? ?層流潔凈室示意圖

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水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s

潔凈室水平層流示意圖

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